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等离子炬

微波等离子炬主要由微波源及电气控制系统、矩形波导、环形器、水负载、自动点火系统、石英管、机柜等构成。当设备运行过程中发生故障时,应能自动报警并停止工作。

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系统框图


微波等离子炬主要由微波源及电气控制系统、矩形波导、环形器、水负载、自动点火系统、石英管、机柜等构成。当设备运行过程中发生故障时,应能自动报警并停止工作。




技术指标

型号

MKW-2450-3-19-01

工作气压

常压

微波频率

2450MHz±50MHz

进气量

≤30L/min

微波功率

3kW

点火方式

自动点火

激发方式

压缩波导 BJ22

冷却方式

水冷

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