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微波等离子体发生器
微波等离子体发生器主要由微波源及电气控制系统、矩形波导、环形器、水负载、手动点火系统、石英管、机柜等构成。当设备运行过程中发生故障时，应能自动报警并停止工作。
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系统框图
微波等离子体发生器主要由微波源及电气控制系统、矩形波导、环形器、水负载、手动点火系统、石英管、机柜等构成。当设备运行过程中发生故障时，应能自动报警并停止工作。
产品图
技术指标
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型号 |
MKW-2450-10-19-02 |
控制方式 |
PLC+显示屏控制 |
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微波频率 |
2450MHz±50MHz |
进气与出气口石英管外径 |
Φ23mm-Φ35mm |
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工作电压 |
三相五线制380VAC50Hz |
设备工作环境 |
温度为：-10℃-55℃； 湿度为：40%-60%RH； |
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微波功率 |
可定制 |
等离子体观察方式 |
微波屏蔽等离子体观察窗 |
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波导标准 |
BJ22 |
点火方式 |
手动式 |
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功率器件 |
真空磁控管 |
工作气体 |
甲烷 |
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冷却方式 |
水冷+风冷 |
设备接地电阻 |
≤4Ω |
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气量 |
0.1-5m³/h |
设备微波泄漏 |
符合国家标准GB5959.6-2008 |
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设备外观要求 |
美观大方 |
功能 |
处理甲烷气体 |